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您當前的位置： CP離子束研磨機介紹
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現在，樣品中越來越小的細節結構正逐步受到人們的關注。為獲得高質量截面，在沒有任何變形或損失的情況下揭開樣品內部最真實的結構信息，離子束研磨對比于常規的機械研磨有著更為優良的研磨效果，能高效且易獲得高質量切面結果，對軟/硬復合、帶有孔縫結構、熱敏性、脆性及非均質的樣品均有很好的效果。 CP(Cross-section Polisher),離子束研磨機是在真空條件下，離子槍中低壓惰性氣體（氬）離子化，出射的陽離子又經加速，獲得具有一定速度的離子束投射到樣品表面，由于離子帶正電荷，其質量比電子大數千、數萬倍，特別適用于微電子器件或芯片的斷面失效分析或晶體取向分析。所以離子束比電子束具有更大的撞擊動能，靠微觀的機械撞擊能量加工樣品。 CP離子束研磨機的特點： 幾乎無應力損傷，且制作的斷面寬度/深度能達到1-2mm，遠超FIB的微米級別，但只能從距邊緣50-150um處加工，不能從樣品中間任意點加工，且樣品須耐150攝氏度加熱溫度 | |
CP離子束研磨機應用領域
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應用領域：半導體、電子材料、高新材料、復合材料、鋰離子電池、隔膜、太陽能電池、高分子材料、金屬材料、陶瓷、生物材料等。
CP離子束研磨機應用案例
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