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透射電子顯微鏡(TEM)是以電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。根據(jù)不同工作模式，可以做高分辨掃描透射STEM, 高分辨TEM像，配備的球差自動(dòng)校正實(shí)現(xiàn)原子級成像，晶體的選區(qū)衍射SAD，F(xiàn)FT快速傅里葉變換做微區(qū)晶型分析，其EDX能譜可以做空間分辨率達(dá)到納米級的元素分析；配備的電子能量損失譜EELS, 適合于輕元素如C/N/O/Si在納米范圍內(nèi)的分析。

由電子槍發(fā)射出來的電子束，在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡，會聚成一束尖細(xì)、明亮而又均勻的光斑，照射在樣品室內(nèi)的樣品上；透過樣品后的電子束攜帶有樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息，樣品內(nèi)致密處透過的電子量少，稀疏處透過的電子量多；經(jīng)過物鏡的會聚調(diào)焦和初級放大后，電子束進(jìn)入下級的中間透鏡和第1、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像，最終被放大了的電子影像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板上；從而將電子影像轉(zhuǎn)化為可見光影像以供觀察。

            儀器能力介紹：

            STEM分辨率： 0.08nm @ Cs校正

            TEM點(diǎn)分辨率0.204nm,晶格分辨率0.1nm

            EDS能量分辨率：131eV,

            EDS空間分辨率1~5nm

            EELS能量分辨率：1.0eV,

            空間分辨率0.5nm 

            電壓：80KV~200KV

            EDS：Super-X EDS,

            SDD無窗4探頭，  0.98Srad

            EELS：Gatan 977 Enfinium ER