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華南檢測新聞|日立超高分辨率冷場掃描電鏡投入運營

發布日期:2022-06-17閱讀量:3042
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  • 本月,公司新購的全新日立SU8220冷場發射掃描電子顯微鏡開始安裝調試運營,并依據設備采購合同所詳列的各項內容,逐項對設備的各項功能及技術指標進行現場檢測。最終,經試運行,設備性能穩定,技術指標達到合同要求,設備及其配件以及相關操作說明資料齊全,設備各功能及性能指標的測試結果均符合合同要求。

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    該設備的性能指標如下:分辨率: 0.8nm(加速電壓15KV,工作距離4.0mm),1.1nm(著陸電壓1KV,工作距離1.5mm,減速模式),放大倍率:20--100萬倍,可研究納米尺度的微觀形貌;配置X-MaxN牛津能譜儀,晶體有效采集面積不小于150mm2,能譜分辨率達125eV,可以分析10納米左右的微區元素成份。

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    至此,我公司電鏡實驗室又添新成員,該設備的購置將為更多院校、科研機構,企業提供更優質的SEM、EDS電鏡檢測服務。

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