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輪廓測量介紹

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光學3D表面輪廓儀也叫白光干涉儀，主要是用于產品微觀形貌測量，主要是測微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納米級別的。


光學3D表面輪廓儀主要在半導體晶圓加工、3C行業(yè)的蓋板、光學元器件、超精密加工以及各高等院校實驗室。


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輪廓測量儀器介紹

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    儀器能力         

      

    測量范圍：200*100*50mm

    分辨率：0.1微米

    
 
    

                 


輪廓測量的應用范圍

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                                  測量立體形狀

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                        測量細微形狀和粗糙度

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                            線粗糙度測量

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                                     平面測量

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                             面粗糙度測量

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                      比較測量

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              體積面積測量

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                      顯微觀察

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輪廓測量的應用示例

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            金屬切削面（相隔位置的平面度）

 

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                        噴砂處理（評估粗糙度）

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          金屬斷裂面 通過表面積、體積分析


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              PGA 統一測量高度和個數

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               PCBA 以平面度測量起伏

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               密封條線粗糙度 面粗糙度

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               齒輪全周截面形狀

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