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掃描電鏡分為哪幾種？

掃描電子顯微鏡其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的，已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究。那么掃電子顯微鏡鏡分為哪幾種？

鎢燈絲掃描電鏡

鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對不導(dǎo)電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。

場發(fā)射掃描電鏡

場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率掃描電鏡，分為冷場和熱場，其分辨率在加速電壓 30 kV時達0.6nm，已接近透射電鏡的水平。 適用于納米材料精細形貌的觀察，可薛利高質(zhì)量高分辨二次電子圖像。該儀器配備的X射線能譜儀可對塊狀樣品做定性及半定量分析，該設(shè)備適用于物理、材料、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、化學(xué)高分子、地質(zhì)礦物、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的微觀研究和分析。場發(fā)射掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料分析中，尤其是其良好的低壓高空間分析性能和低壓下良好的掃描電子像相互結(jié)合使用，使掃電鏡應(yīng)用范圍得到擴展。

冷場發(fā)射陰極的發(fā)射面積較小、能量集中，便于將電子束聚焦于一個很小的點，以提高分辨率。不過在現(xiàn)代的電鏡技術(shù)條件下，熱場發(fā)射電鏡通過采取各種有效措施，也能夠?qū)㈦娮邮鴧R聚于一個理想的點，達到冷場發(fā)射電鏡的分辨率水平。冷場發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)領(lǐng)域的分析儀器。熱場發(fā)射掃描電鏡是一種用于物理學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的分析儀器。

透射掃描電鏡

透射電子顯微鏡是電子顯微鏡的原始類型，它的主要原理是將高壓電子束引導(dǎo)至樣品以照亮樣品并產(chǎn)生樣品的放大圖像。由于透射電鏡具有原位觀察、高分辨顯像等功能，適宜觀察光學(xué)顯微鏡觀察不到的細微結(jié)構(gòu)。比如：細胞、組織分析、晶體結(jié)構(gòu)等。

生物掃描電鏡

生物掃描電鏡主要利用二次電子成像拍攝材料的表面三維形貌情況，拍攝照片為黑白照片；一般用來觀察細胞外表面的變形以及受損情況等，也可以觀察材料在細胞表面的分布情況，廣泛應(yīng)用于檢測生物樣品，觀察細胞整體結(jié)構(gòu)、亞細胞結(jié)構(gòu)、非均相有機材料、無機材料等微米、納米范圍內(nèi)的表面特征。

環(huán)境掃描電鏡

環(huán)境掃描電鏡的工作原理是采用多級真空壓差技術(shù)，在保持電子槍和鏡筒的高真空狀態(tài)下，樣品室內(nèi)可以保持較高的氣壓及較高的濕度和壓力，而且溫度可調(diào)，氣體二次電子探頭接收不導(dǎo)電樣品表面信號，便于觀察新鮮活體生物樣品，解決了生物樣品失水變形問題。樣品無須干燥及鍍膜，能保持生物活體形態(tài)結(jié)構(gòu)的真實性。

環(huán)境掃描電鏡既可以在高真空狀態(tài)下工作，又可以在低直空狀態(tài)下工作。在利用高真空功能的時候，對于非導(dǎo)電材料和濕潤試樣，要經(jīng)過固定、脫水，干燥，鍍膜等系列處理后方可觀察。利用低真空功能，樣品可以省略預(yù)處理環(huán)節(jié)，直接觀察試樣，不存在化學(xué)固定所產(chǎn)生的各種問題，甚至可以觀察活體生物樣品。

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