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SEM表征檢測(cè)主要檢測(cè)什么？

SEM表征檢測(cè)主要檢測(cè)什么？SEM全稱Scanning Electron Microscope，即掃描電鏡，是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。想要了解SEM表征檢測(cè)主要檢測(cè)的什么，需要先了解SEM，如SEM掃描電鏡的工作原理，其主要檢測(cè)哪些內(nèi)容，檢測(cè)的樣品是哪些，樣品分別都有什么需求。

SEM檢測(cè)的工作原理

SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來進(jìn)行微觀成像。其原理是當(dāng)具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時(shí)候，電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞，一些電子反射出樣品的表面，而一部分則滲入樣品中，被樣品所吸收。在該過程當(dāng)中，大部分的電子能量會(huì)轉(zhuǎn)換成樣品熱能，而剩下的則會(huì)在其中激發(fā)出各種信號(hào)。

SEM表征檢測(cè)的應(yīng)用范圍

SEM表征檢測(cè)可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價(jià)態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進(jìn)行元素成分定性、定量分析。用來觀測(cè)芯片內(nèi)部層次和測(cè)量各層厚度、觀測(cè)并拍攝局部異常照片和測(cè)量異常尺寸、測(cè)量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污 染物的化學(xué)元素組成。

SEM樣品的要求

粉末樣品基本要求

    （1）單顆粉末尺寸最好小于1μm；

    （2）無磁性；

    （3）以無機(jī)成分為主，否則會(huì)造成電鏡嚴(yán)重的污染，高壓跳掉，甚至擊壞高壓槍；

塊狀樣品基本要求

   （1）需要電解減薄或離子減薄，獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察；

   （2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等機(jī)械方法制成粉末來觀察；

   （3）無磁性；

廣東省華南檢測(cè)技術(shù)有限公司SEM材料表面表征：提供表面分析、顯微檢測(cè)及材料分析，為高科技行業(yè)提供支持.材料內(nèi)部表征:提供縱向分布分析、薄膜鍍層分析、失效分析、顆粒缺陷和殘留物分析、晶體結(jié)構(gòu)分析、粗糙度測(cè)量和熱性能分析、復(fù)雜工程問題解決方案。

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