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芯片C-SAM超聲波掃描技術(shù)

芯片C-SAM超聲波掃描是一種無損檢測(cè)技術(shù)，可以快速、準(zhǔn)確地檢測(cè)芯片內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和缺陷。C-SAM是利用聲學(xué)掃描原理工作的，當(dāng)聲波遇到與周圍材質(zhì)不同的物質(zhì)時(shí)，會(huì)被反射、散射、吸收、阻擋等，返回的聲波（回聲）用于內(nèi)部結(jié)構(gòu)的成像。由于聲波是物質(zhì)波（matter wave），聲學(xué)掃描能夠反映X射線成像術(shù)無法探測(cè)到的封裝裂痕。通過圖像對(duì)比度，可以判斷材料內(nèi)部聲阻抗的差異，確定缺陷的形狀和尺寸，以及確定缺陷的方向。

C-SAM超聲波掃描技術(shù)主要是利用頻率高于20KHz的超聲波脈沖探測(cè)樣品內(nèi)部空隙等缺陷。它采用分層掃描方式，可以聚焦到某一層，判斷缺陷深度。該技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1. 無損檢測(cè)：C-SAM超聲波掃描不會(huì)對(duì)芯片造成任何損傷，可以保證芯片的完整性和性能。

2. 高效快速：該技術(shù)可以在短時(shí)間內(nèi)對(duì)大量芯片進(jìn)行檢測(cè)，提高了效率。

3. 精確度高：通過高精度的接收和分析設(shè)備，可以獲得高精度的檢測(cè)結(jié)果。

4. 可視化分析：可以將檢測(cè)結(jié)果以圖像或數(shù)據(jù)的形式呈現(xiàn)，方便分析人員快速了解芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷情況。

超聲波掃描顯微鏡是一種理想的無損檢測(cè)方式，廣泛應(yīng)用于物料檢測(cè)（IQC）、失效分析（FA）、質(zhì)量控制（QC）、質(zhì)量保證及可靠性（QA/REL）以及研發(fā)（R&D）等領(lǐng)域。這種技術(shù)可以檢測(cè)電子元器件、LED以及金屬基板的分層和裂紋等缺陷，包括裂紋、分層和空洞等。

1. 集成電路制造：在制造集成電路過程中，需要對(duì)芯片內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和缺陷進(jìn)行檢測(cè)，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

2. 汽車電子：汽車電子控制單元（ECU）等關(guān)鍵部件需要保證其可靠性和穩(wěn)定性，因此需要對(duì)芯片內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和缺陷進(jìn)行檢測(cè)。

3. 航空航天：航空航天領(lǐng)域的電子控制系統(tǒng)需要高可靠性的芯片，因此需要對(duì)該類芯片進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷的檢測(cè)。

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